微型探針冷熱臺上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔,亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Wo(hù)氣體,來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜,或高溫下氧化。
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半導(dǎo)體冷熱臺腔內(nèi)可以充入保護(hù)氣體或抽真空(依據(jù)不同型號),來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜。
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顯微鏡高溫?zé)崤_用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時(shí),外殼/底座溫度會被帶得很燙/很涼,危害周遭人員設(shè)備甚至設(shè)備自身。用循環(huán)水讓外殼溫度保持在常溫附近,能有效預(yù)防此災(zāi)害。
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XYZ模塊化變溫探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔,亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Wo(hù)氣體,來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜,或高溫下氧化。
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